パイレックスウエハースの概要

パイレックスウエハーは、 Corning パイレックスマイクロエレクトロガラスMEMS、マイクロ流体工学、マイクロセンサー、半導体パッケージング向けに開発された特殊材料です。標準的なガラスウエハーと比較して、パイレックスウエハーは優れた熱安定性、信頼性の高いシリコン接合性能、そして優れた化学的・機械的耐久性を備えています。

供給 カスタムパイレックスウエハース 試作から量産まで、厚さ制御、微細加工、ダイシング、薄化、表面仕上げ、光学グレード研磨など、あらゆる工程をサポートします。当社の製造ワークフローは、ウエハレベルの精度と長期的な信頼性が求められるMEMSデバイス、バイオ分析チップ、光モジュールを開発するエンジニア向けに設計されています。

Corning パイレックスマイクロエレクトロガラスの概要

Corning パイレックス・マイクロエレクトログラスは、マイクロエンジニアリング用途向けに特別に設計された高品質のホウケイ酸ガラスです。主な利点は以下のとおりです。

• シリコンとの優れたCTEマッチング 高成功率の陽極接合
• 高い熱安定性と低い熱膨張
• 酸、溶剤、純水に対する優れた耐性
• リソグラフィー、コーティング、パターン形成のための滑らかな表面
• VISからNIRまでの高い透過率
• 薄肉化と深い微細構造化のための強力な機械的強度

この材料基盤により、リソグラフィー、ボンディング、エッチング、プラズマ処理、温度サイクルを通じてウェーハガラスの安定性が確保されます。

当社が供給するウェーハガラス材料

At LIGHTINGテクニカルガラス製造における当社の専門知識は、ウェハ供給にとどまりません。当社は、お客様の製品開発サイクル全体を通してエンジニアリングパートナーとして、MEMS、マイクロ流体工学、ラボオンチップ、光センシング、半導体パッケージングといった要求の厳しいアプリケーションをサポートします。 Corning パイレックスウエハーソリューションは、 Corning パイレックス マイクロエレクトロガラスは、厳密な寸法管理、優れた化学的耐久性、一貫して高い熱安定性を備えて製造されており、世界中のマイクロエンジニアリング プロジェクトで信頼できる基板の選択肢となっています。

LIGHTING 包括的なウェーハガラス材料を供給しており、

• Corning パイレックスマイクロエレクトロガラス
• Corning イーグルXG
• SCHOTT ボロフロート® 33

各材料は、さまざまな用途や処理要件に適した独自の特性を備えています。

ウェーハ製造サポート

当社のエンジニアリング専門家は、さまざまな分野にまたがって連携し、パターン化されたガラス基板、光学ウィンドウ、マイクロ流体レイアウト、シリコン、金属、機能性フィルムを含むハイブリッド スタックなどのウェーハ構造の設計、検証、試作、最適化を支援します。

アプリケーションにカスタム マイクロビア、エッチング機能、超薄型プロファイル、高平坦性ウィンドウのいずれが必要な場合でも、当社は技術的な明確さ、製造に関する洞察、迅速な問題解決を提供することに尽力します。