ウェーハガラスの紹介
ウエハーガラスは、半導体、光学、電子機器の製造において重要な部品であり、薄膜堆積、光学コーティング、先端パッケージングの基板として利用されています。高周波回路、MEMSデバイス、太陽電池、タッチパネルなど幅広い用途に使用され、それぞれに適した熱特性、機械特性、光学特性を持つ材料が求められています。専門ガラスメーカーとして、当社はBOROFLOAT® 33、PYREX®、石英などの材料を使用し、厳格なSEMI規格の精度と信頼性を満たすカスタムウエハーガラスソリューションを提供しています。
照明分野では、さまざまな性能に対するお客様の要件を満たすために、さまざまな材料のウェーハを提供できます。
ウェーハガラスの主要材料
当社の高純度ガラス材料は、多様な産業ニーズに合わせて設計されています。
- ボロフロート® 33: 熱膨張率が低く、耐熱衝撃性に優れたホウケイ酸ガラスで、光学ミラーや高温用途に最適です。
- パイレックス®: 化学的耐久性と過酷な環境における安定性に優れていることで知られており、半導体や LED パッケージングに適しています。
- クォーツ/フューズドシリカ: レーザー光学およびリソグラフィーに不可欠な超低熱膨張と高い UV 透過性を実現します。
- イーグルXG® :低 CTE (~3.2×10⁻⁶/K) のアルカリ土類ホウアルミノシリケートガラス、MEMS キャリア ウェーハ、および薄くて硬い低アルカリ基板が求められるウェーハ レベル パッケージング。
これらの材料は、SEMI 標準サイズ (2 インチ ～ 450 mm) およびカスタム形状で提供され、厚さは 25 ミクロンから、表面仕上げはラップ仕上げの不透明から光学研磨まであります。
ウェーハガラスの用途
ウェーハガラスは、さまざまな業界の最先端技術をサポートしています。
- 半導体2.5D/3Dパッケージにおけるモニターウェーハ、ダミーウェーハ、インターポーザーとして使用されます。高出力デバイス向けSOI（Silicon-on-Insulator）ウェーハやSiC（Silicon Carbide）ウェーハにも対応可能です。
- 光学: ミラー (例: SiO₂ 保護銀コーティングを施し、IR 反射率が 33% を超える Borofloat 98) やリチウムニオブ酸塩ウェハ変調器などのカスタム光学部品の基板として機能します。
- ディスプレイ・電子機器関連: 超薄型で傷に強い設計により、LCD、エレクトロルミネセンス ディスプレイ、タッチ コントロール パネルを実現します。
- エネルギー: 太陽電池と高効率 LED 光学系に不可欠です。
- 先端製造: 精密センサー用の MEMS、セラミック ウェーハ コーティング、および石英ウェーハ エッチングをサポートします。
カスタムウェーハガラス製造サービス
当社施設は、独自の仕様を満たすカスタマイズされたソリューションを専門としています。
- 次元カスタマイズ直径50mmから450mm、厚さ0.001インチ（25µm）から3mmまでのウェハを製造します。±0.5µmという厳しい公差により、ウェハのダイシング、ソーイング、熱酸化プロセスとの互換性を確保しています。
- 表面処理オプションには、光学的に研磨されたエッジ（高周波アプリケーションでの信号損失を低減）、面取りされたエッジ、および SEMI 標準のノッチ/フラットが含まれます。
- 後処理: ウェット洗浄プロセス（半導体グレードの表面の RCA 洗浄など）と、レーザーまたは機械的な方法を使用したウェーハ切断をサポートします。
- パッケージング: 輸送中の汚染を防ぐためにウェハカセットをしっかりと梱包します。
高度なウェーハガラス製造ワークフローをサポート
当社は主要な業界プロセスと統合します。
- 半導体洗浄当社のガラス基板は、微粒子や有機残留物を除去するためのウェット ウェーハ洗浄ツール (SC1/SC2 溶液など) と互換性があります。
- ウェーハダイシング: 精密ガラス ウェーハ ダイシング サービスは、高出力電子機器に使用されるサファイア ウェーハやシリコン カーバイド ウェーハにとって重要なチッピングを最小限に抑えます。
- 熱管理: クォーツやBOROFLOAT® 33などの材料は熱膨張率が低いため、シリコンウェーハの熱酸化プロセスにおける反りが減少します。
ウェーハガラスサプライヤーとして当社を選ぶ理由は何ですか?
世界規模で展開する中国のガラス工場として、当社は高度なガラス機器製造の専門知識と垂直統合型サプライ チェーンを組み合わせています。
- 材料の多様性: 原材料の供給（例： パイレックス® ウエハース、 ボロフロート® 33ウエハース、イーグルXG® ウエハーおよび完成部品。
- エンドツーエンドソリューションカスタム光学部品からセラミックウェーハコーティングまで、当社は OEM およびサプライヤーの生産を合理化します。
- 品質管理すべての製品は SEMI 規格に準拠しており、表面平坦度 (<3 arcmin) とコーティング耐久性の認定を受けています。
カスタムウエハーガラス（2インチ～12インチおよびパネル）の注文
当社は、高純度基板に特化したウェハガラスサプライヤーです。 MEMSガラス基板 の三脚と ウエハレベルパッケージングガラス在庫があり、カスタムメイドも承ります PYREX®/BOROFLOAT® 33、石英（フューズドシリカ）、BK7、EAGLE XG®、D263T SEMIサイズ 2～12インチ（50～300 mm） そしてパネルは最大 600×800 mm 低いTTV/ワープ、きれいなエッジ、光学グレードの研磨。
注文の指定方法
- 直径/パネルサイズ（2インチ～12インチ、リクエストに応じてカスタマイズ可能）
- 厚さと許容差（該当する場合は25μmまで）
- 表面仕上げ（DSP / ターゲットRa；スクラッチディグ）
- SEMIによるフラット/ノッチ、エッジベベル/面取り
- TTV/ワープターゲット（標準≤10 μm、オプション≤1 μm）
- 穴/スロット/TGV（位置公差付き図面）
- コーティング（AR、ITO、Cr/Au、親水性/疎水性/AF）
- 数量、包装レベル（クリーンルームカセット）、所要リードタイム